中國工業和信息化部官網9日公布「首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）」的通知…若實現國產8奈米及以下製程DUV，未來絕大多數晶片製造，將不用受制於ASML。不過，截至目前，截至目前，尚無中國官方與廠商宣布這項消息

中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片 https://www.cna.com.tw/news/ait/202409140249.aspx